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中国电子科技集团公司第四十八研究所

江西展宇新能源股份有限公司

青岛华旗科技有限公司

赛姆柯(苏州)智能科技有限公司

山东力冠微电子装备有限公司

扩散炉数据指标

设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

炉管数：1～4管

配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

恒温区长度：760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

单点稳定性：±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)

气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

气体控制： 浮子/质量流量计

悬臂舟参数：速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 载荷：17 Kg

超净工作台：净化等级：100级(万级厂房)

噪音： ≤62dB(A)

振动： ≤3μm

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